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杂志ISSN号
离子泵强磁场时抽速计算
作者姓名:
刘军立
摘 要:
本文从离子泵强磁场模式的系统理论与实验结果出发,考虑了离子泵的连续溅射连续沉积过程,得出了强磁场时离子泵的抽速公式,给出了抽速系数C^n的数值计算结果。
关 键 词:
真空 离子泵 抽速 强磁场 计算
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