离子泵强磁场时抽速计算

本文从离子泵强磁场模式的系统理论与实验结果出发，考虑了离子泵的连续溅射连续沉积过程，得出了强磁场时离子泵的抽速公式，给出了抽速系数Ｃ＾ｎ的数值计算结果。