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以CH4为放电气体,利用电感耦合等离子体化学气相沉积(ICP—PECVD)法制备了类金刚石薄膜,使用FTIR、AFM、台阶仪对薄膜进行了表征,并对薄膜的沉积过程进行了光谱诊断(OES).研究了射频功率和基底在放电腔体中的位置对薄膜表面粗糙度、沉积速率和硬度的影响.实验结果表明:A位置处薄膜粗糙度随着功率的增加先减小后增大,随着射频功率的升高,薄膜的硬度逐渐增大,沉积速率先增大后减小,而薄膜硬度和沉积速率都随着与线圈中心距离的增加而减小.光谱诊断结果显示,随着功率的升高,Iβ/Iα和CH的强度呈增大趋势.结合上述研究结果,分析了影响薄膜生长的多种因素. 相似文献
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关于用计算方法来评定钢材冲击韧度是2000年国际标准ISO14556首先提出来的,随后我国也制定出相应标准GB/T19748“钢材夏比V型缺口摆锤冲击仪器化试验方法”。国标中提出的新的评定冲击韧度方法:韧性断面率。它与当前广泛应用的“金属夏比冲击断口的测定方法”有什么区别,二者测量结果是否一致,它们之间有没有内在联系等问题, 相似文献
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我刊于今年第四期发表张苏东同志撰写的《炮击“紫石英”号》一文后,《报刊文摘》于8月17日摘要转载了该文。现宁夏一读者对其中一些细节提出不同佐证,我们刊登如下。同时,我们还约请原海军指挥学院研究员王彦同志撰写《中英双方谁先开炮之我见》,记述他曾采访该事件的一些情况。 相似文献