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利用直流脉冲磁控溅射法在室温下制备ITO薄膜.通过台阶仪、紫外-可见分光光度计、四探针仪等表征技术,研究了沉积气压、溅射功率,以及Ar/O2流量比等对ITO薄膜沉积速率、光学性能,以及电学性能的影响.研究结果表明,薄膜沉积速率随沉积气压的增大而减小,随功率的增大而增大;方块电阻随气压的增大而增大,随功率的增大而减小;可见光平均透过率主要受O2流量的影响.在沉积气压为0.5 Pa,Ar/O2流量比为20∶0,溅射功率为250 W,膜厚为200 nm时,薄膜的方块电阻为27Ω/□,可见光平均透过率为84.1%. 相似文献
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利用直流脉冲磁控溅射法在室温下制备ITO薄膜.通过台阶仪、紫外-可见分光光度计、四探针仪等表征技术,研究了沉积气压、溅射功率,以及Ar/O2流量比等对ITO薄膜沉积速率、光学性能,以及电学性能的影响.研究结果表明,薄膜沉积速率随沉积气压的增大而减小,随功率的增大而增大;方块电阻随气压的增大而增大,随功率的增大而减小;可见光平均透过率主要受O2流量的影响.在沉积气压为0.5Pa,Ar/O2 流量比为20:0,溅射功率为250W,膜厚为200nm时,薄膜的方块电阻为27Ω/□,可见光平均透过率为84.1%. 相似文献
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采用溶胶-凝胶法制备了一种介孔磷酸锆固体酸催化剂,通过X射线衍射、X射线荧光光谱、傅里叶红外光谱、比表面积及孔分布测定、吡啶红外吸附等表征手段确定了催化剂的结构特性,该催化剂在山梨醇脱水制备异山梨醇反应中表现出比传统固体酸催化剂更好的催化活性,由于固体酸催化剂具有与产物易分离的优点,通过对反应产物组分模拟简化了异山梨醇提纯工艺路线,制备异山梨醇纯度达到99.5%.制备的磷酸锆催化剂具有较大的潜力,可以很好地替代液体酸催化剂应用于反应之中,有着广阔的应用前景. 相似文献
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