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用波长为1064nm的Nd—YAG激光器,在氧的活性气氛中,通过激光烧蚀Zn靶在Si(111)衬底上获得ZnO薄膜.用电子显微镜(XRD和FESEM)表征ZnO薄膜的结构和表面形貌,用光致发光谱表征光学性质.实验中观察到紫外光发射和深能级的黄绿光发射.紫外光发射是ZnO薄膜的固有性质,深能级光发射是由于存在氧反位缺陷(OZn).紫外光发射和深能级光发射的强度依赖于薄膜的表面粗糙度.表面粗糙度在nm级范围内的ZnO薄膜可以获得高强度的紫外光. 相似文献
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