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Al2O3-SiO2-ZrO2复合膜的热稳定性研究 总被引：1，自引：0，他引：1
主要探讨了引入SiO2和ZrO2对Al2O3薄膜热稳定性的影响，并采用DTA、XRD和SEM等分析方法对其进行了研究，结果表明，1000℃煅烧后的复合膜中，主晶相为γ-Al2O3和t—ZrO2，SiO2以无定形态存在，1200℃热处理后的复合膜中仍然没有发生γ-Al2O3，向α—Al2O3的相变。 相似文献
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