高精度巨磁阻传感器设计

巨磁阻传感器预计将实现极高的灵敏度。采用优化传感器结构的方法,通过有限元分析,获得高信号噪声比。当带传感器的最佳尺寸为:厚4.3μm,带宽20～30μm,长数mm,曲流传感器元件CoNbZr(厚4.3μm,长5μm,宽30 mm,圈数为3)采用特殊工序建造,在几百MHz时,得到变化超过200%的高阻抗,尤其在501 kHz时,获得1.7×10-8Oe/Hz1/2的磁场分辨率。