电子特种气体及我国发展现状

本文研究了电子特种气体的种类、纯度以及在半导体工业中的应用状况,从技术上讨论了电子特种气体的纯净度对半导体工业的影响。结合国内电子特种气体的市场综述了国内电子特种气体的生产厂家及其现状,指出了国内电子特种气体产业存在的问题以及我国电子特种气体产业的发展前景。     

特种气体的分离技术

本文主要介绍了特种气体的三种分离技术：精馏法、吸附分离法和膜分离法。并分别介绍了这三种方法的分离原理，优缺点及适用范围。文章中还提到制约这三种分离方法发展的条件及解决方法，并给出了这三种分离方法的发展趋势。     

填料塔中液体分配对分离的影响

研究了填料塔中液体分配对分离的影响,详细讨论了液体分配不均程度对分离的影响以及液体的初始分布对分离的影响。为了使填料塔能够得到设计的分离效果,液体在填料层中的分布要尽快达到自然流分布,消除液体分配不均对分离的影响。     

三氟化氮制备方法综述

本文介绍了三氟化氮气体的两种生产方法—直接化合法和电解法,并根据它们的研究发展方向,具体介绍了它们的基本原理、生产工艺以及相关的工艺设备。     

三氟化氮纯化方法综述

介绍了三氟化氮(NF3)的基本物化性质及生产方法。为了满足电子工业对其纯度要求,采用的纯化方法有:低温精馏法、共沸精馏法、吸收法、选择吸附法以及各种方法的联用技术。     

一种用于特殊管路环境的粉尘采样系统

粉尘采样系统是环保部门和厂矿企业用于测定气体中含尘浓度的一种重要手段。本文根据国家相关标准设计出一种适用于高温高压高湿管路环境的采样系统,本系统根据实际管路环境的需要进行了改进,包括采样头、冷凝器、耐压储水罐以及质量流量控制器等设备。其耐压耐温,可分析管路中的水蒸气含量,并且可以对高浓度的粉尘含量进行分析,具有操作简便,易于控制,结果准确等优点。     

三氟化氮制备方法概述

介绍了三氟化氮气体的2种生产方法——直接化合法和电解法,并根据它们的研究发展方向,具体介绍了其基本原理、生产工艺以及相关的工艺设备。