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电子特种气体及我国发展现状   总被引:6,自引:0,他引:6  
本文研究了电子特种气体的种类、纯度以及在半导体工业中的应用状况,从技术上讨论了电子特种气体的纯净度对半导体工业的影响。结合国内电子特种气体的市场综述了国内电子特种气体的生产厂家及其现状,指出了国内电子特种气体产业存在的问题以及我国电子特种气体产业的发展前景。  相似文献   
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研究了填料塔中液体分配对分离的影响,详细讨论了液体分配不均程度对分离的影响以及液体的初始分布对分离的影响。为了使填料塔能够得到设计的分离效果,液体在填料层中的分布要尽快达到自然流分布,消除液体分配不均对分离的影响。  相似文献   
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